멀티스케일 에너지 시스템 연구단 [게시판 : 특허> 등록]

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단계
연구자		기여도	40%
등록기관	한국과학기술연구원	재산권구분
발명자	손지원,박정훈,윤경중,이해원,제해준,김병국,이종호
특허명	분할 타겟 펄스 레이저 증착 장치 및 이를 이용한 초박막 다층구조 증착 방법
출원번호		출원날짜	2016/12/01
등록국	대한민국
등록인명	한국과학기술연구원
등록번호	10-1502449	등록날짜	2015/03/09
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