1) 원리 및 기능
스퍼터증착기는 진공상태에서 전압을 가하여 타겟물질과 기판사이에 전기장을 형성합니다. 이로부터 아르곤기체가 이온화되면서 플라즈마가 형성되고 이온화된 아르곤분자는 타겟표면과 충돌하여 타겟물질을 증발시킵니다. 방출된 타겟물질이 기판에 증착되어 nm두께의 얇은 박막을 형성합니다.

2) 기기활용
- 주사전자현미경(SEM)시편코팅
- 센서및 3d프린팅 부유마스크 제작을 위한 얇은 전도성 박막형성

3) 사양
- Targetmaterial:Pt(Au,Cr,Iralsopossible, butnotusingnow)
- Targetsize:57mm Ø
- Sizeofspecimenstage:2",3",4” wafersize
- Rotationspeed:14rpm<speed<38rpm
- Pumpingspeed:5m^3/hr
- Workchambersize:300mmdiameterX127mmhigh
- Instrumentweight:45kg
- Turbopump:70L/secaircooled
   Rotarypump:50L/minpumpwithoilmistfilter
- SputterVacuumrange:5×〖10〗^(-3)  mbar<pressure<5×〖10〗^(-2)  mbar
- Depositioncurrent:0-150mA
- Gas:Ar,99.999%(5psi)

4) 장비회사홈페이지
https://www.quorumtech.com/

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