1) 원리 및 기능

전자빔을 시료에 주사할 때 시료에서 발생되는 특성 X선을 반도체 소자를 이용하여 에너지 형태로 검출하는 장비로서 일반적으로 주사전자현미경에 부착하여 사용.
연속 X선 (Continuous X-ray): 원자핵과 내각 전자에 의해 형성된 Coulombic field가 입사된 전자의 속도를 늦추어 연속 X-선을 생성하며 spectrum의 background를 형성.
특성 X선 (Characteristic X-ray): 내각 전자의 이온화에 의해 생성되며, 내각 전자가 방출되어 생긴 빈자리를 외각전자가 천이하여 채우면서 그 에너지 차이를 가지는 특성 X-선을 생성.
전 범위의 에너지 영역에서 원소 성분을 동시에 분석할 수 있고, 시편 준비가 비교적 쉬우며 데이터 수집 시간이 빠름.
Spectrum에 의한 구성 원소 분석 및 Line scanning, Mapping 등에 의한 원소 분포 분석이 가능.

2) 기기활용
- Powder, Bulk, 박막 시료에 대한 구성 원소의 정성 및 정량 분석
- 금속, 광물, 세라믹, 반도체, 플라스틱, 고무 시료 등의 조성 분석
- 시료 성분 원소의 분포도 분석 (Point, Line scan, Mapping)
- Multilayer 시료의 각 Layer의 성분 분석
- 침투물질, 부식상태, 코팅 재료의 성분 분석
- 재료 Alloy 식별

3) 사양
- 성분이 0.1~1 wt% 이상 함유되어야 검출 가능.
- 불균일한 시료의 경우, 측정위치에 따라 오차발생.
- X-ray 탈출 깊이(수 ㎛)로 인하여 극미소 시료 측정 불가능.

4) 장비회사 홈페이지
https://www.selectscience.net/products/noran-system-7-x-ray-microanalysis-system/?prodID=104115

▒ 관련자료 ▒