1) 원리 및 기능
Non-contact mode를 이용하여 비파괴적인 방법으로 tip과 샘플 사이의 원자간 힘을 환산하여 데이터를 얻는다.이는 팁뿐만 아니라 샘플의 손상을 최소화 시키며 정확한 해상도를 보장한다.
2) 기기활용
- 샘플의 height 등 morphology 측정
3) 사양
- 스켄 최대 영역: 50 um x 50 um
- 측정 가능 단차: 1nm ~ 1um
- 정확도:±1%
- 한계 분리능:10pm (재진도,팁의 sharpness등에 영향을 받음)
- 최대 스캔 속도: 1MHz
- 가능한 샘플 종류: solid 재료 (폴리머 및 액체 불가)
