1) ¿ø¸® ¹× ±â´É
¿¡¾î·ÎÁ¹ ±â¹ýÀΠźȼö¼Ò ±âüÀÇ ·¹ÀÌÀú ±¤¿ºÐÇظ¦ ÅëÇÏ¿© ź¼Ò ³ª³ë¼ÒÀ縦 ÇÕ¼º ÇÒ ¶§ ¹æÃâµÇ´Â ºûÀÇ ½ºÆåÆ®·³À» ºÐ¼®ÇÏ¿© ¾î¶°ÇÑ Áß°£ ÈÇÐÁ¾(intermediate chemical speices)ÀÌ »ý¼ºµÇ´ÂÁö¸¦ ³ôÀº °ø°£Çػ󵵷ΠºÐ¼®À» ÇÏ¿© ±âüÀÇ È帧°ú ·¹ÀÌÀú ±¤ÀÇ Àüµµ¸¦ °í·ÁÇÏ¿© À§Ä¡¿¡ µû¶ó ÈÇйÝÀÀÀÌ ¾î¶»°Ô ´Þ¶óÁö´ÂÁö¸¦ À¯ÃßÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ½ºÆÄÅ© ¹æÀü¹ýÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ³ª³ë¼ÒÀçÇÕ¼º½Ã¿¡ ¾î¶°ÇÑ ¼ö¼Û±âü¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© »ý»êÀ» ÇÏ´ÂÁö°¡ »ý¼ºµÈ ¼ÒÀçÀÇ Æ¯¼º¿¡ Å« ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Âµ¥ ½ºÆÄÅ© ¹æÀü½Ã¿¡ »ý¼ºµÇ´Â ÇöóÁ¿¡¼ ¹æÃâµÇ´Â ºûÀÇ ÆÄÀåÀ» ºÐ±¤±â·Î ºÐ¼®ÇÔÀ¸·Î½á ¾î¶°ÇÑ ¹°¸®ÈÇÐÀû ÀÛ¿ëÀÌ ÀϾ¼ ³ª³ë¼ÒÀçÀÇ Æ¯¼ºÀÌ ¹Ù²î´ÂÁö¸¦ ÃßÁ¤°¡´ÉÇÏ´Ù.
2) ±â±âÈ°¿ë
ºÐ±¤±â(Spectrometer)´Â ¹Þ¾ÆµéÀÎ ºûÀÇ ¼¼±â¸¦ ÆÄÀ庰·Î ÃøÁ¤ÇÏ¿© ³ªÅ¸³»¾îÁÖ´Â ÀåºñÀÌ´Ù. ¿¡¾î·ÎÁ¹ ±â¹ýÀ¸·Î »ý»êµÇ´Â ¿¬·áÀüÁö/žçÀüÁö¿ë ¼ÒÀçÀÇ Æ¯¼ºÀ» ÆľÇÇÏ°í »ý»ê °úÁ¤¿¡¼ »ý¼ºµÇ´Â Áß°£ ÈÇÐÁ¾(intermediate chemical species)ÀÇ ÈÇнÄÀ» ¹àÇô³»±â À§ÇÏ¿© Èí¼ö ¹× ¹æÃâ ½ºÆåÆ®·³À» ÃøÁ¤Çϴµ¥ »ç¿ëµÈ´Ù. źȼö¼Ò ±âüÀÇ ·¹ÀÌÀú ±¤¿ºÐÇØ ¶Ç´Â ½ºÆÄÅ© ¹æÀü¹ýÀ» »ç¿ëÇÑ ±Ý¼Ó/¹ÝµµÃ¼/ź¼Ò ³ª³ëÀÔÀÚ Á¦Á¶°úÁ¤¿¡¼ ºÎ»ê¹°·Î ³ª¿À´Â ºûÀÇ Æ¯¼ºÀ» ÃøÁ¤ÇÏ¸é »ý»ê°úÁ¤¿¡¼ ¾î¶°ÇÑ ¹°¸®ÈÇÐ ¹ÝÀÀµéÀÌ ÀϾ´ÂÁö ¹àÇô³¾ ¼ö ÀÖ°í ÀÌ Á¤º¸¸¦ Åä´ë·Î »ý»êµÇ´Â ³ª³ë¼ÒÀçÀÇ ¹°¸®ÈÇÐÀû Ư¼ºÀ» »ç¿ë¸ñÀû¿¡ ºÎÇÕÇÏ°Ô ÃÖÀûÈ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
3) »ç¾ç
ÀÌ Àåºñ´Â ºûÀ» ¹Þ¾ÆµéÀÌ´Â ±¤¼¶À¯ ÄÉÀ̺í°ú ȸÀý°ÝÀÚ, °Å¿ï, ÀüÇÏ°áÇÕ¼ÒÀÚµîÀ» Æ÷ÇÔÇÏ´Â ºÐ±¤±â º»Ã¼·Î ÀÌ·ç¾îÁ®ÀÖ´Ù. ºÐ±¤±â ½Ã½ºÅÛÀÇ ÁÖ¿ä»çÇ×Àº Àû¿Ü¼±¿¡¼ Àڿܼ±À» ¾Æ¿ì¸£´Â ³ÐÀº ÆÄÀå ¿µ¿ª(200-1100 nm), ³ôÀº °ø°£ÇØ»óµµ(38 lp/mm, line pairs per mm)¿Í ÆÄÀåÇØ»óµµ(0.19 nm), ³·Àº ³ëÀÌÁî(1 MHz Àб⠼ӵµ¿¡¼ 7-10 e- rms, electrons root mean square, 5 MHz Àб⠼ӵµ¿¡¼ 20 e- rms), ³ôÀº ÆÄÀåÁ¤È®µµ(0.26nm)µîÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ Àü¿ë ±¸µ¿ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ³ÐÀº ÆÄÀå ¹üÀ§ (200-933 nm) ½ºÆåÆ®·³À» ºÐÇÒÃøÁ¤ ÇÏ´Â ±â´É, ȸÀý°ÝÀÚ ±³Ã¼¸¦ ÅëÇÑ ³ÐÀº ÆÄÀå ¹üÀ§¿¡ °ÉÄ£ °íÈ¿À² ±¤-½ÅÈ£ º¯È¯µî »ç¿ëÇÏ°íÀÚ ÇÏ´Â ¸ñÀû¿¡ ºÎÇÕÇÏ´Â ¼º´ÉÀ» °¡Áö°í ÀÖ´Ù.
4) Àåºñȸ»ç ȨÆäÀÌÁö
http://www.fergiSpec.com/
¢Æ °ü·ÃÀÚ·á ¢Æ