1) 원리 및 기능
진공증착법의 일종으로 비교적 낮은 진공도에서 플라즈마를 이온화된 아르곤등의 가스를 가속하여 타겟에 충돌시키고, 원자를 분출시켜 웨이퍼나 유리같은 기판상에 막을 만드는 방법

2) 기기활용
메탈 및 세라믹 증착

3) 사양
- 가스 종류: Ar, O2
- 가스 유속: 0~ 100 ccm/s
- 압력 가능 범위 : 5mtorr~ 100mtorr
- 진공 정도: 10-7 p
- 파워: 0~300W
- 1회 진공시 증착 가능한 물질 3종류

4) 장비회사 홈페이지
http://www.ultech.co.kr/

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