1) 원리 및 기능
증착시킬 재료인 소스(증발원)를 도가니(Furnace)에 올려두고,고진공을 유지한 상태에서 전기적 저항열을 줌으로써 증발원을 기체화 한다.이렇게 증발된 기체 원자 및 분자들은 기판까지 날아가 기판 표면에 응축되어 모이면서 박막을 형성한다. 도가니에 전달되는 전류량을 조절함으로써 증착속도를 변화시킬 수 있다.

2) 기기활용
- 페로브스카이트 태양전지 제작용 전하수송층,전극 등을 열증착
- 증착 가능 물질 : C60, BCP, LiF, Au, Cu
- 직접사용 불가,조작대행만 가능
- 패턴마스크 (없는경우) 별도 제작 필요 (문의)

3) 사양
- Sample size & throughput : Up to150 mm x 150 mmsquare
- Loading capacity : Depend on sample size (25 mm x 25 mm (16ea),50 mm x 50 mm (4ea), 150 mm x 150 mm (1ea), 기타 문의)
- Sample rotation speed : 5 rpm
- Thermal power supply : 1.5kW (5V / 300A)
- Substrate heater : None
- Load-lock chamber : Back-bone type
- Deposition control : Automatic film thickness control
- Ultimate pressure : ≤ 7×10-7Torr
- Vacuum pump : Cryo pump + Rotary pump
- Process control : Manual/Auto process control

4) 장비회사 홈페이지
http://www.ultech.co.kr/

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