1) 원리 및 기능
전계방사 주사현미경 (FE-SEM)은 강한 electric field 에 의해 방출된 전자를 시료 표면에 주사하여, 시료와 충돌후 방출 되는 2차전자 및 후방산란전자의 증폭,측정을 통해 3차원 이미지를 결상한다.고해상,고배율 이미지를 얻을 수 있으며,샘플과 목적에 따라 가속 전압을 조절할 수 있으며 비교적 낮은 가속전압에서 샘플에 대한 손상을 최소화 하며 측정이 가능하다.

2) 기기 활용
- μm~nm 단위의 표면구조 측정
- 다양한 시료 (금속,폴리머,세라믹 등)에 대한 고배율/고해상도 측정 지원
- EDS를 이용한 시료의 정성, 정량분석 지원

3) 사양
- Resolution: 0.8nm@15kV
- All resolution specifications: 1.6nm@1kV
- Acceleration Voltage: 0.02~30kV
- Magnification: 12~2,000,000x

4) 장비 회사 홈페이지
https://www.zeiss.co.kr/

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